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什么是氣敏傳感器??工作原理是什么?
傳感器
問
提問者:網(wǎng)友
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2017-08-23
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氣敏傳感器是一種基于聲表面波器件波速和頻率隨外界環(huán)境的變化而發(fā)生漂移的原理制作而成的一種新型的傳感器。工作原理:聲表面波器件之波速和頻率會(huì)隨外界環(huán)境的變化而發(fā)生漂移。氣敏傳感器就是利用這種性能在壓電晶體表面涂覆一層選擇性吸附某氣體的氣敏薄膜,當(dāng)該氣敏薄膜與待測(cè)氣體相互作用(化學(xué)作用或生物作用,或者是物理吸附),使得氣敏薄膜的膜層質(zhì)量和導(dǎo)電率發(fā)生變化時(shí),引起壓電晶體的聲表面波頻率發(fā)生漂移;氣體濃度不同,膜層質(zhì)量和導(dǎo)電率變化程度亦不同,即引起聲表面波頻率的變化也不同。通過測(cè)量聲表面波頻率的變化就可以準(zhǔn)確的反應(yīng)氣體濃度的變化。
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