一区二区在线播放视频|金发欧美一区在线观看|亚洲五月天激情在线视频|亚洲 欧美 另类 在线|国产私拍福利精品视频网站|精品日韩欧美一区国产三区|亚洲国产成人综合在线电影二|国产91精品高清一区二区三区

下載手機(jī)汽配人

誰知道等離子去膠機(jī)的原理?

等離子去膠機(jī)是用來給電子制造中的晶片打底模的,我是個實(shí)習(xí)生。急需
提問者:網(wǎng)友 2017-09-08
最佳回答
等離子去膠法,去膠氣體為氧氣。其工作原理是將硅片置于真空反應(yīng)系統(tǒng)中,通入少量氧氣,加1500 V高壓,由高頻信號發(fā)生器產(chǎn)生高頻信號,使石英管內(nèi)形成強(qiáng)的電磁場,使氧氣電離,形成氧離子、活化的氧原子、氧分子和電子等混合物的等離子體的輝光柱?;罨?活潑的原子態(tài)氧)可以迅速地將聚酰亞胺膜氧化成為可揮發(fā)性氣體,被機(jī)械泵抽走,這樣就把硅片上的聚酰亞胺膜去除了。等離子去膠的優(yōu)點(diǎn)是去膠操作簡單、去膠效率高、表面干凈光潔、無劃痕、成本低、環(huán)保電介質(zhì)等離子體刻蝕設(shè)備一般使用電容耦合等離子體平行板反應(yīng)器。在平行電極反應(yīng)器中,反應(yīng)離子刻蝕腔體采用了陰極面積小,陽極面積大的不對稱設(shè)計(jì),被刻蝕物是被置于面積較小的電極上。在射頻電源所產(chǎn)生的熱運(yùn)動作用下帶負(fù)電的自由電子因質(zhì)量小、運(yùn)動速度快,很快到達(dá)陰極;而正離子則由于質(zhì)量大,速度慢不能在相同的時(shí)間內(nèi)到達(dá)陰極, 從而使陰極附近形成了帶負(fù)電的鞘層。正離子在鞘層的加速下,垂直轟擊硅片表面,加快表面的化學(xué)反應(yīng)及反應(yīng)生成物的脫離,導(dǎo)致很高的刻蝕速率。離子轟擊也使各向異性刻蝕得以實(shí)現(xiàn)等離子體去膠的原理和等離子體刻蝕的原理是一致的。不同的是反應(yīng)氣體的種類和等離子體的激發(fā)方式。
回答者:網(wǎng)友
產(chǎn)品精選
搜索問答
還沒有汽配人賬號?立即注冊

我要提問

汽配限時(shí)折扣

本頁是網(wǎng)友提供的關(guān)于“誰知道等離子去膠機(jī)的原理?”的解答,僅供您參考,汽配人網(wǎng)不保證該解答的準(zhǔn)確性。